赛微电子受邀协办2021(十三届)传感器与 MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展）

　　近日，由中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室、中国电子学会传感与微系统技术分会主办，北京赛微电子股份有限公司协办,由厦门半导体投资集团有限公司、上海龙媒商务咨询有限公司承办的“2021(十三届)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会(暨成果展)”在中国厦门召开。

　　本次论坛邀请传感器与MEMS领域国际知名专家以及业界顶尖企业、政府机构、高校、科、研、院所的重要嘉宾发表主题演讲，就业内最前沿技术和中国MEMS产业现状及发展机遇，共同探讨交流。

　　赛微电子董事长杨云春先生在会上发表“建设全球化布局的MEMS先进代工服务平台”为主题的演讲。在他看来，目前各类MEMS器件(传感器、驱动器等)已在现代社会得到广泛应用，从传统的航空导航、工业控制、生物医疗、矿源勘探、消费电子、安防监控，到目前火爆的5G&6G高频通信、人工智能、无人驾驶、万物互联(IOT)，运用MEMS工艺制造与革命的器件与产品种类有望迅速扩充，同时也产生了一一对应的“定制化”工艺制造技术，对MEMS芯片代工制造企业提出了新的挑战。

　　基于20年的工艺开发及制造实践积累，赛微电子全资子公司瑞典Silex Microsystems通过对MEMS产品工艺制造技术进行系统性分析、归类，将各产品关键制造工艺进行萃取并加以对比分析，进一步得到共性关键工艺。再对这些工艺进行聚焦研发、IP布署，逐渐建成模块化的大规模MEMS工艺制造体系。该等举措成效显著：2019-2020年赛微电子全资子公司瑞典Silex Microsystems AB在全球MEMS晶圆代工排名中均位居第一。

　　本次会议中，赛微电子展出了瑞典Silex(FAB1&2)的几款代表性产品，包括：

　　【 RF MEMS 开关】RF MEMS 开关是电子系统最基本的组成部分之一， 电子MEMS开关是电子系统的革新者，服务于多个行业，包括下一代5G移动网络，工业物联网市场，电池管理，智能家居，电子汽车和医疗仪器。 MEMS开关是一种低损耗，高功率开关，仅需几皮安即可工作，其运行速度比典型的机械开关快1000倍。

　　【 MEMS 谐振器】MEMS谐振器用于产生高稳定基准频率的计时设备，该基准频率可以测量时间。这些参考频率可用于对电子系统进行排序，管理数据传输，定义射频频率并测量经过的时间。 MEMS振荡器具有更好的抵抗振动和机械冲击的弹性，并具有相对于温度变化的可靠性。

　　【 MEMS 硅光子】硅光子技术是在硅基材料的平面排列中引导光的方法，主要用于创建用于光纤电信的发送器和接收器。由于能将更多的传输信息压缩到给定的带宽，给定的占位以及给定的成本，硅光子学有望彻底改变光通信市场。

　　【基于MEMS的芯片实验室】该芯片用于疾病的快速早期检测。它是第一个提供自动操作的完全集成的分子诊断系统，将临床样品制备，核酸提取以及微流体实时聚合酶链反应(PCR)扩增和检测功能整合到一个独立的系统中。它可以同时满足批处理工作流和按需测试的要求，以最大程度地提高实验室效率和灵活性，并且该系统目前已在与新冠状病毒的战斗中部署。

　　【 MEMS 医疗压力传感器】MEMS技术是推动人体内部使用的未来医疗设备的关键推动力。该样本显示了世界上最小的压力传感器，该传感器用于外科导管上以局部测量人心脏小冠状动脉中的血压。

　　赛莱克斯北京8英寸MEMS国际代工项目是北京市集成电路产业重点项目，公司与全球最大的纯MEMS代工企业瑞典Silex Microsystem是兄弟公司，依托于瑞典赛莱克斯近20年的技术积淀和MEMS量产经验，由国家专家牵头组织工艺技术开发，广泛吸纳来自全球范围内的半导体产业高端人才，共同致力于MEMS国际代工线建设，加快国产MEMS传感器产品的产业化进程，推动中国MEMS技术发展和进步。

　　本次会议中，赛微电子展出了赛莱克斯北京(FAB3)的几款代表性产品，包括：

　　【1701B-振膜在上MEMS结构】新型结构1701B产品可运用于换弹式或注入式电子烟产品，实现开关情况下的大电容变化量，提升MEMS控制开关的容错能力，可有效解决电子烟自启动的行业痛点，同时解决电子烟因使用过程种产生的漏油而导致的电子烟自燃问题。

　　【2701-振膜在下MEMS结构】特殊振膜结构2701产品运用于高端TWS ANC产品，突破SNR> 64 dB，有效提升市面上背进声硅麦耐强声压和防尘效果;实现极佳的低频相位一致性，在20Hz时相位一致性≤3°。

　　【新品-振膜在下MEMS结构】一款高性能消费类TWS耳机麦克风芯片。

　　2016年，赛微电子以7.5亿元人民币的价格完成对Silex的控股收购后进行了良好的整合，Silex成为赛微电子全资子公司，同时也是赛微电子MEMS业务板块的核心工厂之一。2020年9月，赛莱克斯8英寸MEMS国际代工项目建成通线，在技术跨国转移遭遇瑞典战略产品检验局(the Swedish Inspectorate of Strategic Products，简称为 ISP)干扰的背景下，于2021年6月实现正式生产，赛微电子同时在瑞典斯德哥尔摩和中国北京两地拥有了业界先进、高质量运营的8英寸MEMS产线，且瑞典及北京MEMS产线均在持续新建扩充产能。从定位上看，北京MEMS产线更是可以提供标准化的规模产能，在积累共性关键工艺制造技术的基础上建设世界级MEMS代工服务平台，有利于赛微电子进一步拓展全球尤其是亚洲市场，更好地为下游客户服务，同时继续扩大公司MEMS业务的竞争优势，继续保持在MEMS纯代工领域的全球领先地位。

　　近年来，全球传感器市场一直保持快速增长，在MEMS传感器应用前景良好和国产化进程提速背景下，赛微电子以半导体业务为核心，面向物联网与人工智能时代，一方面重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务，一方面积极布局GaN材料与器件业务，致力于成为一家立足本土、国际化发展的知名半导体科技企业集团。